Tidak ada industri yang menuntut kemurnian udara bertekanan lebih tinggi daripada fabrikasi semikonduktor. Compressed Dry Air (CDA) digunakan di seluruh proses produksi chip — dari wafer handling, pneumatic actuation pada peralatan lithography, hingga purging chamber — di mana kontaminasi sekecil apa pun dapat merusak wafer bernilai jutaan dolar.
| Parameter | Standar Fabrikasi Semikonduktor |
|---|---|
| Kelas kemurnian udara | ISO 8573-1 Class 0 |
| Dew point | -40°C hingga -70°C |
| Filtrasi partikel | Sub-mikron |
| Waktu operasi | 24/7 dengan redundansi penuh |
ISO Class 0 Adalah Persyaratan Mutlak
Untuk aplikasi yang bersentuhan langsung dengan produk atau lingkungan cleanroom, industri semikonduktor mensyaratkan udara bertekanan ISO 8573-1 Class 0 — level kontaminasi terketat yang ada, memastikan nol persen risiko kontaminasi oli dari kompresor itu sendiri. Kompresor oil-free adalah satu-satunya pilihan yang dapat diterima untuk aplikasi ini.
Dew Point Ultra-Rendah dan Kontrol Partikel
Selain bebas oli, CDA untuk semikonduktor memerlukan dew point yang sangat rendah (sering di bawah -40°C hingga -70°C) untuk mencegah kondensasi kelembapan yang dapat mengganggu proses litografi presisi tinggi, serta filtrasi partikel sub-mikron untuk mencegah kontaminasi partikulat pada permukaan wafer yang sensitif.
Redundansi dan Keandalan 24/7
Fab semikonduktor beroperasi 24/7 dan sangat sensitif terhadap gangguan pasokan udara — bahkan penghentian singkat dapat menyebabkan kerugian batch produksi bernilai besar. Ini menjadikan sistem kompresor dengan redundansi penuh, kontrol master otomatis, dan monitoring jarak jauh sebagai standar wajib, bukan fitur tambahan.
Diskusikan kebutuhan CDA presisi tinggi untuk fasilitas semikonduktor Anda.
Konsultasi TeknisDirangkum dari standar ISO 8573-1 dan panduan aplikasi cleanroom semikonduktor Atlas Copco.